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本发明提供用于直拉硅单晶炉热场拆清辅助机，该辅助机包括支撑架、第一驱动组件、支撑立柱、夹取组件和托盘组件，若干支撑立柱固定安装于支撑架上，在第一驱动组件的驱动力下，可伸缩的支撑立柱在竖直方向上进行升降运动；夹取组件可旋转固定于支撑立柱上，若干托盘组件可旋转安装于支撑立柱上；夹取组件将单晶炉内的器件夹取并放置于托盘组件上；该辅助机用于将处于高温状态时的单晶炉进行拆卸，节省了冷却需要的时间，且避免造成人员烫伤的问题出现；可旋转的夹取组件与托盘组件在进行拆卸单晶炉的过程中，占地面积较小，降低了对周围环
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112658659 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202011395051.0 (56)对比文件
(22)申请日 2020.12.03
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