- 1、本文档共8页,其中可免费阅读7页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明公开了一种真空腔体晶圆传送阀门控制结构,其用于机台真空腔体晶圆传送过程中,包括:阀门驱动单元经过密封套件连接腔体传送阀门,其用于驱动腔体传送阀门开启和关闭;密封套件套装阀门驱动单元的输出臂上;密封件套装在阀门驱动单元输出臂伸出阀门驱动单元的出口处;抽气单元连接在密封套件上,其对密封套件执行抽气。本发明的解决方案从根本上解决了晶圆lineshape形状缺陷形成,能大幅提高产品良品率。同时又避免由于频繁更换部件造成生产效率降低的问题,本发明改造成本非常低廉,对机台的改造也非常有限,非常有利于
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112687587 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202011563010.8
(22)申请日 2020.12.25
(71)申请人 上海华力集成电路制造有限公司
您可能关注的文档
- 具有结构稳定性的半导体器件.pdf
- 一种超薄壁部件用高强度高韧性镁合金及其制备方法.pdf
- 一种道路划线装置.pdf
- 对称双极柔性直流输电系统子模块过电压控制保护方法.pdf
- 一种穿戴设备显示方法及装置.pdf
- 一种含氟探针及其制备方法与应用.pdf
- 一种抗老化新能源汽车的窗控开关用记忆控制系统.pdf
- 螺杆压缩机润滑结构、螺杆压缩机以及具有其的设备.pdf
- 一种超前钻机控制系统.pdf
- 正极材料、电化学装置和电子装置.pdf
- 典型机床的电气控制讲述课件.ppt
- 六年级总复习词语课件.ppt
- 农残兽残快速检测课件.ppt
- 2024-2030年血栓抽吸导管行业市场现状供需分析及重点企业投资评估规划分析研究报告.docx
- 2024-2030年诊断设备行业市场发展分析及发展趋势与投资研究分析报告.docx
- 2024-2030年谷氨酰胺-γ-谷氨酰转移酶2行业市场现状供需分析及重点企业投资评估规划分析研究报告.docx
- 2024-2030年超纯水净化装置行业市场现状供需分析及重点企业投资评估规划分析研究报告 (2).docx
- 共好的晋升文化之一迈向健康新主管课件.ppt
- 冬季呼吸道疾病的控制课件.ppt
- 八上诗歌赏析分析课件.ppt
最近下载
- 7《短歌行》《归园田居(其一)》 对比联读 教学设计 2024-2025学年统编版高中语文必修上册.docx
- 沪教版 七年级(上)数学 秋季课程 第4讲 整式的乘法(解析版).doc VIP
- 2024年萍乡卫生职业学院单招职业适应性测试模拟试题及答案解析.docx
- 生物 生命活动的主要承担者——蛋白质 专题练习.doc VIP
- 《摩登时代》-公开课件(设计).ppt VIP
- A7-10-制冷系统部件的检修.pdf
- Unit 2 I think that mooncakes are delicious! Section A(Grammar Focus-4c) 课件-九上英语.pptx VIP
- 2024年萍乡卫生职业学院单招职业技能测试题库及答案解析.docx VIP
- 父母借用子女名义购房协议书.doc
- 团体操花球串词.doc
文档评论(0)