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一种陶瓷粉末制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-04 发布于四川
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一种陶瓷粉末制备方法.pdf

    一种陶瓷粉末制备方法，包括：在所述第一通气后，进行第二通气，继续向所述等离子体发生腔内通入所述第一气体，同时向所述等离子体发生腔内通入反应气体，并采用射频等离子电源对所述第一气体、所述反应气体进行解离，形成混合气体等离子体；提供固态原料，所述固态原料包括两种以上的单质金属；在形成所述混合气体等离子体之后，将固态原料送至所述等离子发生腔，所述固态原料在所述等离子体发生腔气化形成气态原料，所述气态原料与解离后的反应气体在所述反应腔内发生反应，生成过程产物；通过冷凝所述过程产物，获取陶瓷粉末，利于提高

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116199507 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202111458695.4 H01J 37/32 (2006.01) (22)申请日 2021.12.

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