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氮化硼层、包括其的装置以及制造氮化硼层的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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氮化硼层、包括其的装置以及制造氮化硼层的方法.pdf

    提供氮化硼层、包括其的装置及制造氮化硼层的方法。所述氮化硼层包括氮化硼化合物并且在100kHz的工作频率下具有约2.5或更小的介电常数。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750685 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011180671.2 H01L 21/768 (2006.01)

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