1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置.pdfVIP

  • 0
  • 0
  • 约2.89万字
  • 约 31页
  • 2023-06-05 发布于四川
  • 举报

基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置.pdf

    本发明涉及基板保持单元、基板保持构件、基板保持装置及基板处理装置，提供用于使用粘接构件而更良好地保持基板的技术。一种基板保持装置，其具有用于在保持面保持基板的多个基板保持单元，多个基板保持单元中的每一个使用基板保持装置，所述基板保持装置具有：粘接构件，所述粘接构件具有粘接面，所述粘接面设置有与基板粘接的粘接材料；倾动机构，所述倾动机构使粘接构件的粘接面能够相对于保持面倾动；以及进退机构，所述进退机构使粘接构件的粘接面能够相对于保持面进退。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750746 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011182426.5 (22)申请日 2020.10.29 (30)优先权数据 2019-1967

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >