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- 2023-06-05 发布于四川
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本发明公开了一种三轴加速度计，其包括：基板；固定设置于所述基板上的锚块；固定设置于基板上的第一X轴电极、第二X轴电极、第一Y轴电极、第二Y轴电极、第一Z轴电极和第二Z轴电极；悬置于所述基板上方的框架，其包括相对设置的第一梁柱和第二梁柱，第一梁柱形成第三Z轴电极，第二梁柱形成第四Z轴电极；悬置于所述基板上方的质量块，所述质量块上形成有第三X轴电极和第三Y轴电极；和弹性连接组件，被配置的弹性连接于所述锚块、所述连接梁以及所述质量块上。本发明的三轴加速度计只需要一个质量块，就可以实现三个轴的高精度加速
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112748258 A
(43)申请公布日
2021.05.04
(21)申请号 20191
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