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一种具有多轴联动机械手的晶圆自动传输装置.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一种具有多轴联动机械手的晶圆自动传输装置.pdf

    本发明公开了一种具有多轴联动机械手的晶圆自动传输装置，包括机架；固定安装在机架内的机械手传动机构和风箱传动机构；与机械手传动机构传动连接的机械手机构，所述机械手机构通过数个机械手传动组件联动形成多轴联动机械手，且机械手机构上设置有夹持机构；与风箱传动机构传动连接的风箱机构，所述风箱机构活动安装在机架上。本发明通过机械手机构多轴联动提供XY方向运动，机械手传动机构提供上下Z轴运动，可以将晶圆上料至不同加工机型的对应位置，可有效解决单台上料设备无法兼容不同的加工机型的问题，避免了需要配置不同款式的定

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112736004 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202110228760.8 (22)申请日 2021.03.02 (66)本国优先权数

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