CN105203825A 微测量电极的制作方法和热电势的测量方法及相关装置 （国家纳米科学中心）.docxVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN105203825A

(43)申请公布日2015.12.30

(21)申请号201510547780.6

(22)申请日2015.08.31

(71)申请人国家纳米科学中心

地址100190北京市海淀区中关村北一条

11号

(72)发明人王汉夫李晓笑褚卫国金灏熊玉峰

(74)专利代理机构北京品源专利代理有限公司11332

代理人孟金喆胡彬

(51)Int.CI.

GO1R19/00(2006.01)

G01R3/00(2006.01)

权利要求书2页说明书8页附图9页

(54)发明名称

微测量电极的制作方法和热电势的测量方法及相关装置

(57)摘要

CN105203825A本发明实施例公开了一种微测量电极的制作方法和微尺度样品热电势的测量方法。其中，所述的微测量电极的制作方法包括：制作镂空掩模板，所述镂空掩模板包括至少一个加热器及加热器接线端的镂空图形，和第一电阻温度计和第二温度计的镂空图形，所述温度计的镂空图形包括测温金属线和接线端的镂空图形；将承载有微尺度样品的衬底与所述镂空掩模板对准固定，形成镂空掩模板-衬底复合体；将所述镂空掩模板-衬底复合体进行金属沉积；移除镂空掩模板。采用本发明实施例所提供的技术方案，能够避免