1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

氧化硅膜用研磨液组合物.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约2.94万字
  • 约 20页
  • 2023-06-05 发布于四川
  • 举报

氧化硅膜用研磨液组合物.pdf

    本发明在一个方式中提供一种能够提高氧化硅膜的研磨速度的研磨液组合物。本发明在一个方式中涉及一种氧化硅膜用研磨液组合物，其含有氧化铈粒子(成分A)、添加剂(成分B)、及水系介质，成分B是当对成分B的10ppm水溶液利用循环伏安法(Ag/AgCl电极基准)进行测定时，还原电位为0.45V以上的化合物。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112753095 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 201980062898.6 (72)发明人 土居阳彦　山口哲史　菅原将人　

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >