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传感器元件以及角速度传感器.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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传感器元件以及角速度传感器.pdf

    在传感器元件中，框架以x轴方向为长度方向。两个驱动臂从框架向y轴方向互相并列地延伸。检测臂在x轴方向上成为两个驱动臂的中央的位置处从框架向y轴方向延伸。多个激振用布线部在两个驱动臂在x轴方向上以相反的相位振动的连接关系下，连接多个激振电极以及端子。第1布线部与第1检测电极和第1检测用端子连接。第2布线部与第2检测电极和第2检测用端子连接。第1布线部的至少一部分和第2布线部的至少一部分在框架上沿框架的长度方向遍及框架的长度的1/4以上的长度而并列地延伸。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112752949 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 201980063069.X (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任

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