原创力文档- 1
- 0
- 约2.25万字
- 约 31页
- 2023-06-05 发布于四川
- 举报
本发明提供一种具有鳍片结构、源极端子及漏极端子、沟道层以及栅极结构的晶体管装置。鳍片结构设置在材料层上。鳍片结构平行地布置且在第一方向上延伸。源极端子及漏极端子设置在鳍片结构及材料层上且覆盖鳍片结构的相对末端。沟道层分别设置在鳍片结构上，且每个沟道层在相同鳍片结构上的源极端子与漏极端子之间延伸。栅极结构设置在沟道层上且跨越鳍片结构。栅极结构在垂直于第一方向的第二方向上延伸。沟道层的材料包含过渡金属及硫族化物，源极端子及漏极端子包含金属材料，以及沟道层与源极端子及漏极端子共价键合。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112750819 A
(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 202011161108.0
(22)申请日 2020.10.27
(30)优先权数据
文档评论（0）