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一种基于高灵敏度相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一种基于高灵敏度相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法.pdf

    本发明提出了一种基于相位型SPR传感器的气体容器泄露的检测装置及其检测方法，可以有效地解决现有技术中配置价格昂贵，灵敏度不够以及检测实时性不够且操作复杂等缺点。系统包括：激光器、起偏器、棱镜相位调制模块、SPR传感模块、SPR传感气室、气压平衡装置（或者抽气装置）、待检测气体容器、检偏器、光强探测器，激光光源发出的光经过起偏器，变成线偏光，经过棱镜相位调制模块，被调制为具有不同相位的椭偏光，再经过SPR传感气室内的SPR传感模块，最后经过检偏器和光强探测器测量并计算得到SPR传感的携带气体折射率

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112747862 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 20191

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