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显微镜和用于确定显微镜中的像差的方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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显微镜和用于确定显微镜中的像差的方法.pdf

    显微镜包括被配置为对包括盖玻片的样品进行成像的光学成像系统、显微镜驱动、位置敏感检测器、光学测量系统和控制单元，所述光学成像系统包括可调校正装置，显微镜驱动被配置为沿光学成像系统的光轴调节盖玻片和光学成像系统之间的距离。光学测量系统被配置为形成第一和第二测量光束，将测量光束以相对于光学成像系统的光轴的不同距离引导到光学成像系统的入射光瞳中，接收由测量光束在盖玻片的表面上的部分反射通过光学成像系统产生的第一和第二反射光束，以及将第一和第二反射光束引导到位置敏感检测器上。控制单元被配置为记录第一和第

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112748562 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011170868.8 (22)申请日 2020.10.28 (30)优先权数据

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