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单晶锭的制造方法和单晶晶片的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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单晶锭的制造方法和单晶晶片的制造方法.pdf

    本发明提供能够以良好的成品率制造结晶性优异的单晶锭的单晶锭的制造方法、和能够制造器件特性优异的晶片的单晶晶片的制造方法。本发明的单晶锭的制造方法包括：准备第一单晶锭的步骤；从第一单晶锭切出评价用基板102和晶种用锭103，在晶种用锭上形成投影面104的步骤；对评价用基板102测定局部音速，在评价用基板上的测定的音速的测定值为规定范围内的位置配置正常点105的步骤；在投影面上配置正常点105的映射107的步骤；从晶种用锭切出包含通过正常点105的映射107且与晶体生长轴平行的直线的晶体片109的步

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112746323 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011188769.2 C30B 15/36 (2006.01)

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