原创力文档- 93
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- 2023-06-05 发布于四川
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本发明公开了一种蚀刻液蚀刻速率测试装置及测试方法，测试装置包括压力表、喷嘴、三通、阀门、注射管和推进机构，通过三通将压力表、喷嘴和注射管三者相连，所述喷嘴下方设有用于放置待刻蚀样品的样品台，所述注射管的活塞杆与推进机构相连，通过推进机构推动活塞杆将注射管内的液体注入到三通中，通过喷嘴喷淋在待刻蚀样品上，所述压力表用于测量喷嘴处的喷出压力。本发明根据测试前与测试后的铜的质量进行比较分析，利用失重法计算出铜的刻蚀速率。其中注射管与推杆之间活性连接，可供拆卸以实现不同蚀刻液的快速更换，具有方便省时的特
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112730146 B
(45)授权公告日 2021.08.17
(21)申请号 202110337035.4 (56)对比文件
(22)申请日 2021.03.30
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