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基于超声震动式处理的半导体晶圆的清洗装置和方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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基于超声震动式处理的半导体晶圆的清洗装置和方法.pdf

    本发明涉及半导体设备技术领域，具体地说，涉及基于超声震动式处理的半导体晶圆的清洗装置和方法。其包括清洗机，清洗机至少包括：清洁体，清洁体包括清洁箱，清洁箱设置有清洗槽，清洁箱设置有进水管，清洗槽设置有出水管，出水管设置有阀门，清洗槽设置有震动体，清洁箱连接有遮蔽体，遮蔽体包括顶板，顶板设置有扶手；安装体，安装体包括四号连接体，四号连接体设置有二号连接体，二号连接体设置有安装槽，安装槽安装有固定体，固定体包括固定架，固定架设置有间距调节体，间距调节体包括调节杆，调节杆连接有接触板。本发明主要提出一

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112735995 B (45)授权公告日 2021.06.04 (21)申请号 202110365913.3 (51)Int.Cl.

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