原创力文档- 10
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- 2023-06-05 发布于四川
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提供能够抑制通过气体流路的放电的产生的等离子体发生装置。等离子体发生装置具备：一对电极，通过放电而产生等离子气体；第一喷嘴部，具有多个第一气体流路，通过多个第一气体流路而使等离子气体流动；第二喷嘴部，具有多个第二气体流路，将从多个第一气体流路流入的等离子气体从多个第二气体流路喷出；及隔断部，设于第二喷嘴部中的相当于一对电极之间的位置，进行隔断以使得多个第一气体流路中的至少两个第一气体流路互不连接。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112753286 A
(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 201880098135.2 (51)Int.Cl.
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