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一种具有垂直磁各向异性的异质结及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一种具有垂直磁各向异性的异质结及其制备方法.pdf

    本发明公开一种具有垂直磁各向异性的异质结及其制备方法，其中，所述制备方法包括步骤：对单晶衬底进行退火处理，备用；在真空条件下，以Re3Fe5O12陶瓷靶作为靶材，采用磁控溅射的方式在所述单晶衬底上制备Re3Fe5O12薄膜；在室温条件下，采用磁控溅射的方式在所述Re3Fe5O12薄膜表面制备重金属层，制得所述具有垂直磁各向异性的异质结。本发明方法制备简单，而且经济适用，且可制得大面积的Re3Fe5O12薄膜，适合用于工业生产，为Re3Fe5O12材料在随机存储器件领域的应用提供了可能。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112746257 B (45)授权公告日 2023.04.11 (21)申请号 202011535692.1 C23C 14/18 (2006.01) (22)申请日 2

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