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晶体生长装置及晶体生长方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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晶体生长装置及晶体生长方法.pdf

    本公开涉及晶体生长装置及晶体生长方法。本实施方式的晶体生长装置具备：坩埚；加热器，设置于所述坩埚的外侧，包围所述坩埚；及线圈，设置于所述加热器的外侧，包围所述加热器，所述加热器的所述坩埚侧的内表面具备第1区域和比所述第1区域远离所述坩埚的外侧面的第2区域。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112746315 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011101116.6 (22)申请日 2020.10.15 (30)优先权数据 2019-1974

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