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- 2023-06-05 发布于四川
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本发明涉及基板保持构件、基板保持装置以及基板保持方法。提供一种用于抑制异物(磨损粉末等)附着于基板的技术。具有：基体，其具有保持基板(10)的保持面(110X)；以及粘附单元(120)，其具有利用粘附力粘贴于基板(10)的粘附垫(123)，设置为能够相对于所述基体移动，粘附单元(120)具有：轴部(121)，其在一端侧连结有粘附垫(123)；以及作为磁性构件的永磁体(125)，其连结于轴部(121)的另一端侧。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112750744 A
(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 202011178132.5
(22)申请日 2020.10.29
(30)优先权数据
2019-1967
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