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- 2023-06-05 发布于四川
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在实施例中,集成电路器件包括:半导体衬底;接触焊盘,位于半导体衬底上;钝化层,位于接触焊盘和半导体衬底上;管芯连接件,延伸穿过钝化层,管芯连接件物理耦接和电耦接至接触焊盘,管芯连接件包括第一导电材料,第一导电材料是具有第一酸硬度/软度指数的路易斯酸;介电层,位于管芯连接件和钝化层上;以及保护层,设置在介电层和管芯连接件之间,保护层围绕管芯连接件,保护层包括第一导电材料和唑的配位络合物,唑是具有第一配体硬度/软度指数的路易斯碱,其中,第一酸硬度/软度指数和第一配体硬度/软度指数的乘积为正。本发明的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112750706 A
(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 202011196697.6
(22)申请日 2020.10.30
(30)优先权数据
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