流体控制装置.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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本发明提供一种流体控制装置。实现抑制了异物的进入的流体控制装置。流体控制装置包括多个阀。多个阀中的至少一个阀为具有将自身的壳体内和外部空间连通的第1连通通路的第1阀。另外,第1阀以外的阀为不具有将自身的壳体内和外部空间连通的通路的第2阀。在流体控制装置中,第1阀的壳体内和第2阀的壳体内由第2连通通路连通。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112747154 B (45)授权公告日 2023.03.28 (21)申请号 202011179253.1 (51)Int.Cl.

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