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本专利申请涉及半导体加工技术领域，公开了一种自动化晶圆夹手喷淋分离的清洗槽设备，包括清洗槽，清洗槽上形成有使清洗液溢出的溢流沟槽，清洗槽内形成有容纳机械手臂夹手的清洗空间，清洗槽上设置有喷淋组件，注流组件和喷气组件，喷淋组件用于对机械手臂夹手喷淋清洗液，注流组件包括相互连通的注流主管和注流支管，注流支管设置于清洁槽的底部，注流支管的侧壁上开设有若干注流孔，当向注流主管内注入清洗液时，清洗液由注流支管上的注流孔进入清洗槽内并带动清洗槽内的清洗液循环流动，喷气组件用于干燥机械手臂夹手，相比于浸洗，附
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112718690 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 202011631844.8
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 上海
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