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2023-06-05 发布于四川
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一种金属掩膜版框架固定支架.pdf

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本发明属于金属掩膜版技术领域，尤其是涉及一种金属掩膜版框架固定支架，包括底座，底座的边缘设有向外延伸的裙边，底座的中心处设有方形的卡槽，卡槽的两侧内壁中均设有与之同形状的回型腔，回型腔内设有卡紧机构，卡紧机构贯穿卡槽的两侧内壁并延伸至其中，卡槽的底部设有悬浮机构，底座内还设有鼓风机构，鼓风机构设置于卡槽的中心处，鼓风机构与卡紧机构及悬浮机构均连通设置。优点在于：本发明可较为方便快捷的对金属掩膜版框架进行固定作用，增加其在后续的加工时的稳定性，同时防止外物的干扰，对加工的杂物可进行一定程度上的控制

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112731760 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202011541232.X (22)申请日 2020.12.23 (71)申请人江苏高光半导体材料有限公司

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