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一种双台面激光直写曝光机的对位方法.pdfVIP

一种双台面激光直写曝光机的对位方法.pdf

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    本发明公开了一种双台面激光直写曝光机的对位方法，本方法改变了视觉标定点的设置位置，使视觉标定点能够沿X方向移动，从而在标定视觉单元的位置时，视觉单元不用移动，而且标定后也视觉单元不用移动到能够看到mark点的范围进行对位，降低了运动的累计误差，提高了对位的精度；因为视觉单元的位置标定时是通过视觉标定点移动实现的，而曝光引擎的移动精度本身就很高，因而视觉单元的移动机构不再需要很高的精度，降低了视觉单元控制的难度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112731772 B (45)授权公告日 2022.04.12 (21)申请号 202011616080.5 H05K 3/06 (2006.01) (22)申请日 2

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