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叠层膜及Ag合金溅射靶.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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叠层膜及Ag合金溅射靶.pdf

    一种层叠膜(10)，其具备Ag合金膜(11)以及层叠在该Ag合金膜(11)的两面的透明介电膜(12)，其特征在于，Ag合金膜(11)总计含有0.5原子％以上且8.0原子％以下范围的Sn或Ge中的至少一种以上，而且Na、K、Ba及Te的总含量为50质量ppm以下且碳含量为50质量ppm以下，剩余部分由Ag和不可避免的杂质构成。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112752863 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 201880098094.7 (51)Int.Cl.

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