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真空蒸镀装置的控制方法.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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真空蒸镀装置的控制方法.pdf

    本发明提供一种真空蒸镀装置的控制方法。真空蒸镀装置(1)的控制方法包括：打开量调整工序，对调整蒸镀材料的释放量的第一调整阀(21)和第二调整阀(31)的打开量进行调整；以及压力检测工序，取得蒸镀材料的释放压力的检测值，在打开量调整工序中，在第一调整阀(21)和第二调整阀(31)的双方打开的情况下，使用膜厚检测器对膜厚的检测值来调整打开量，在仅任意一方打开的情况下，使用释放压力的检测值来调整打开量。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112746243 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011083536.6 (22)申请日 2020.10.12 (30)优先权数据 2019-1993

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