一种TiO2/PS胶体光子晶体及其制备方法和在湿度传感器中的应用.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种TiO2/PS胶体光子晶体及其制备方法和在湿度传感器中的应用.pdf

本发明公开了一种TiO2/PS胶体光子晶体及其制备方法和在湿度传感器中的应用,TiO2/PS胶体光子晶体包括PS单层微球膜和沉积于其上表面的TiO2薄膜,所述PS单层微球膜中微球直径为610~690nm,所述TiO2/PS胶体光子晶体呈周期性六角球壳阵列排布;通过微流注射法、反应离子刻蚀、磁控溅射相结合,在单层PS微球膜上沉积TiO2薄膜,形成尺寸可控的TiO2/PS胶体光子晶体;TiO2/PS胶体光子晶体结合TiO2的湿敏特性以及TiO2/PS胶体光子晶体的光学特征和周期性球壳阵列结构特性,将

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112760707 B (45)授权公告日 2022.06.07 (21)申请号 202011524207.0 C30B 29/58 (2

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