1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

具有远心照明的多束电子特性工具.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.48万字
  • 约 14页
  • 2023-06-06 发布于四川
  • 举报

具有远心照明的多束电子特性工具.pdf

    本发明公开一种多束电子源。所述多束源包含电子源、格栅透镜组合件及多透镜阵列组合件。所述多透镜阵列组合件包括跨衬底安置的一组透镜。所述格栅透镜组合件经配置以引起来自所述电子束源的一次电子束远心着陆在所述多透镜阵列组合件上。所述多透镜阵列组合件经配置以将来自所述电子束源的所述电子束分裂成多个一次电子束。所述格栅透镜组合件包含第一透镜元件及第二透镜元件，其中所述第一透镜元件及所述第二透镜元件由选定距离的间隙分离。所述格栅透镜组合件进一步包含格栅元件，其包含一组孔隙，其中所述格栅元件安置在所述第一透镜元

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112805803 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201980065139.5 (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >