光蚀刻机壳冷却壁.pdfVIP

  • 1
  • 0
  • 约1.56万字
  • 约 16页
  • 2023-06-06 发布于四川
  • 举报
一种电子部件封壳包括限定封壳的外壁的多个壁结构。每个壁结构具有用于冷却流体循环的内部流体通道。封壳进一步包括至少一个分隔结构,该至少一个分隔结构设置在外壁内并且具有与多个壁结构中的至少一个壁结构的内部流体通道处于密封的流体连通的内部流体通道。多个壁结构中的至少一个壁结构的内部流体通道和至少一个分隔结构的内部流体通道限定了在流体流入端口与流体流出端口之间的连续的流体循环路径。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112806112 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201980066583.9 (51)Int.Cl.

文档评论(0)

1亿VIP精品文档

相关文档