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一种ALD自动化上下料机.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种ALD自动化上下料机.pdf

    本发明公开了一种ALD自动化上下料机，包括花篮上料模块、花篮发片模块、硅片传送模块、吸盘取料搬运模块、石墨框定位工位、石墨框载具输送模块、硅片下料输送模块、硅片花篮收片模块、花篮下料模块和机架，所述机架的端面一侧固定安装有花篮上料模块，所述花篮上料模块的一侧连接安装有花篮发片模块，所述花篮发片模块的一侧连接安装有硅片传送模块，所述硅片传送模块的外部一侧设置有吸盘取料搬运模块，所述机架的端面中央连接安装有石墨框定位工位，该ALD自动化上下料机，整体结构稳定牢固；在使用时，上下料平稳快捷，吸盘吸取面

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112760619 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202110107363.5 (22)申请日 2021.01.27 (71)申请人 昆山豪恩特机器人自动化科技有限

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