1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

测定装置以及使用了测定装置的投光系统.pdfVIP

  • 6
  • 0
  • 约2.49万字
  • 约 30页
  • 2023-06-06 发布于四川
  • 举报

测定装置以及使用了测定装置的投光系统.pdf

    本发明提供能够抑制起因于光学系统的像的失真的影响并且测定对象物的测定装置以及使用了测定装置的投光系统。测定装置(1A)具备：照明光学系统(10A)，经由相互不同的第一光路(L1)以及第二光路(L2)向对象物照射具有规定的图案的照射光；以及观察系统(20)，观察经由第一光路(L1)投影到对象物的第一光源像(220a、220b)以及经由第二光路(L2)投影到对象物的第二光源像(220c、220d)，照明光学系统(10A)构成为经由第一光路(L1)的光以及经由第二光路(L2)的光聚光到照射光的行进方向

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112805530 B (45)授权公告日 2022.08.02 (21)申请号 201980065814.4 (72)发明人 村田佳史　 (22)申请日 2019.07.09

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >