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极紫外光产生装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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极紫外光产生装置及方法.pdf

    本申请涉及一种极紫外光产生装置和方法，该装置包括控制器，以及分别连接控制器的沿目标液滴的运动路径依次设置的目标液滴产生器、液滴检测装置、预脉冲激光光源、云雾团检测装置、轨迹调节装置和主脉冲激光光源。上述装置中，配置液滴检测装置以检测目标液滴的存在，反馈给控制器以用于确定主脉冲激光的主脉冲触发时间。同时配置云雾团检测装置获取目标云雾团的监测信号并发送给控制器，以便于控制器求得目标云雾团的运动轨迹。在目标云雾团的运动轨迹与主打靶位置不相交时，控制器控制轨迹调节装置调节目标云雾团的运动轨迹，减小目标云

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112764321 B (45)授权公告日 2022.07.29 (21)申请号 202011597091.3 (56)对比文件 (22)申请日 2020.12.29

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