原创力文档- 12
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- 2023-06-06 发布于四川
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本发明涉及石英材料，具体涉及一种改善石英晶圆双面膜层致密度一致性的方法。所述方法包括在温度T1下对石英晶圆进行第一次预热，时长t1；进行除气，设定温度T2，时长t2；在所述石英晶圆的一面进行沉积；将完成第一次沉积的石英晶圆取出，在温度T3下对其进行第二次预热，时长t3；进行除气，设定温度T4，时长t4；在所述石英晶圆的另一面进行沉积。本发明通过在两面成膜前额外进行两次温度不同的预热，精确控制基材温度进而改善双面膜层致密度一致性。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115747735 A
(43)申请公布日 2023.03.07
(21)申请号 202211139409.2
(22)申请日 2022.09.19
(71)申请人 北京晨晶电子有限公司
地址 100
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