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一种CVD金刚石中性密度滤光片装置及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种CVD金刚石中性密度滤光片装置及其制备方法.pdf

    本发明公开了一种CVD金刚石中性密度滤光片装置及其制备方法，包括滤波镜片、滤波镜片外框、套框和滤波镜片遮避件，所述滤波镜片外框设于套框内，所述滤波镜片设于滤波镜片外框内，所述滤波镜片为掺杂了石墨的CVD金刚石材质加工而成，所述滤波镜片遮避件设于滤波镜片外表面，所述滤波镜片遮避件为掺杂了石墨的CVD金刚石材质加工而成。本发明属于光电技术领域，具体是指一种可以耐受较高激光功率的CVD金刚石中性密度滤光片装置及其制备方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112782820 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 201911010393.3 (22)申请日 2019.10.23 (71)申请人 湖州中芯半导体科技有限公司

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