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一种氮化硅粉生产过程中副产物的处理方法及系统.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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一种氮化硅粉生产过程中副产物的处理方法及系统.pdf

    本发明提供一种氮化硅粉生产过程中副产物的处理方法及系统，所述方法包括：在与氮化硅粉生产反应器连接的排烟管道上设置预设数量的小孔；利用引风机将氮化硅粉生产反应器产生的氨气和氯化氢气体抽入到排烟管道中，并通过排烟管道上小孔将室温的空气充入到排烟管道中与氨气和氯化氢气体混合，以使混合气体降温；利用与排烟管道连接的除尘器过滤并收集混合气体中的氨气和氯化氢反应生成的氯化铵晶体。本发明的处理方法及系统既能有效的将生产的氮化硅粉和氯化铵分离，得到氮化硅粉，又能将分离出的氯化铵进行有效的回收，同时设置淋洗塔对未

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112794342 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 20191

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