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- 2023-06-06 发布于四川
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提供了用氟自由基处理工件的方法。在一个示例实施中，方法包括具有至少一种硅层和至少一种硅锗层的工件。方法可包括在处理腔室中将工件放置在工件支撑件中。方法可包括在等离子体腔室中从工艺气体中生成一种或多种物质。方法可包括过滤一种或多种物质以产生过滤的混合物。方法可包括将工件暴露于过滤的混合物以去除至少一部分的至少一种硅层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112771649 B
(45)授权公告日 2022.04.19
(21)申请号 202080005207.1 专利权人 北京屹唐半导体科技股份有限公
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