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2023-06-06 发布于四川
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保护部件的形成方法.pdf

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本发明提供保护部件的形成方法，在使树脂成为液态而形成保护部件时，良好地识别树脂已成为液态。该保护部件的形成方法在晶片的一个面上形成保护部件，其中，该保护部件的形成方法包含如下的树脂状态识别工序：将与该晶片的一个面接触的热塑性树脂加热，并且在载台的树脂载置面与晶片保持面之间传播超声波振动，对夹持在该晶片保持面所保持的晶片的一个面与该树脂载置面之间的该热塑性树脂是否已一体化进行识别。在识别为已经一体化时，将热塑性树脂在晶片的一个面的整个面上推开，接着对热塑性树脂进行冷却而硬化。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112786487 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 202011189624.4 (22)申请日 2020.10.30 (30)优先权数据 2019-2013

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