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晶体管及其制备方法、阵列基板及其制备方法、显示面板.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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晶体管及其制备方法、阵列基板及其制备方法、显示面板.pdf

    本发明提供一种晶体管及其制备方法、阵列基板及其制备方法、显示面板。该晶体管的制备方法包括：先后在基底上形成有源层、栅绝缘层、栅极、层间绝缘层以及源极和漏极，在形成栅极之后且在形成层间绝缘层之前，在栅极的背离有源层的一侧对有源层进行离子注入，使有源层的未被栅绝缘层和栅极遮挡的区域形成重掺杂区，使有源层的被栅绝缘层遮挡但未被栅极遮挡的区域形成轻掺杂区，使有源层的既被栅绝缘层遮挡又被栅极遮挡的区域形成有源区。该晶体管制备方法通过在离子注入时，采用已经形成的栅极和栅绝缘层作为掩膜，能同时形成有源层的重掺

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112786450 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 20191

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