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本发明涉及基板处理装置和基板收纳容器保管方法。在使收纳了基板的基板处理容器暂时待机的保管部保管比以往更多的基板收纳容器。用于处理基板的基板处理装置具有:基板收纳容器载置部,其在基板处理装置载置基板收纳容器,该基板收纳容器收纳要处理的基板;以及保管区域,其配置为靠近基板收纳容器载置部,用于保管基板收纳容器,保管区域使在水平方向上载置并保管多个基板收纳容器的保管部具有上下多层,位于最上部的保管部能够在其与顶部行驶车之间交接基板收纳容器,顶部行驶车在基板处理装置的上方移动,处于位于最上部的保管部的下侧
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112786504 A
(43)申请公布日 2021.05.11
(21)申请号 202011195798.1
(22)申请日 2020.10.30
(30)优先权数据
2019-2013
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