发射针结构、热场发射电子源及电子显微镜.pdfVIP

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2023-06-06 发布于四川
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发射针结构、热场发射电子源及电子显微镜.pdf

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本发明提供了一种发射针结构、热场发射电子源及电子显微镜，涉及电子显微镜技术领域，解决了氧化锆等低逸出功材料团易从发射针上脱落，影响电子源寿命的技术问题。该发射针结构位于电子源中发射电子，其包括针本体和低逸出功材料团，针本体的周壁上设置有容纳部，低逸出功材料团在烧结过程中形成有嵌入容纳部内的结合部位，且结合部位与容纳部的配合结构将低逸出功材料团夹固于针本体上。本发明的发射针结构能够将低逸出功材料团更为牢固的固定在针本体上，既能够增加储备氧化锆的数量，也能够增强低逸出功材料团与针本体结合的强度，防止

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112786415 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 202110233582.8 (22)申请日 2021.03.03 (71)申请人大束科技（北京）有限责任公司