具有用于有效磁力传输的射频屏蔽件结构的变压器隔离器.pdfVIP

下载本文档

1
0
约2.5万字
约 27页
2023-06-06 发布于四川
举报

具有用于有效磁力传输的射频屏蔽件结构的变压器隔离器.pdf

提供了一种用于向等离子体腔室中使用的衬底支撑件的元件传输功率的变压器隔离器的装置。变压器隔离器的初级装置包括配置为与大地电气耦合的初级基板。初级铁氧体设置在初级基板上，并且初级铁氧体具有初级圆形通道。初级线圈被缠绕在初级圆形通道内。在初级铁氧体和初级线圈上设置有初级屏蔽件。初级屏蔽件包括从初级中心区域延伸到初级铁氧体的外围的第一多个径向区段。初级屏蔽件的延伸区域具有弯曲部分以连接初级屏蔽件和初级基板。在一个示例中，变压器隔离器的次级装置具有与初级装置相似的构造，并作为变压器隔离器的一部分一起使用

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115769320 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202180040682.7 (74)专利代理机构上海胜康律师事务所 31263

具有用于有效磁力传输的射频屏蔽件结构的变压器隔离器.pdfVIP

具有用于有效磁力传输的射频屏蔽件结构的变压器隔离器.pdf

您可能关注的文档

最近下载

文档评论（0）

1亿VIP精品文档

相关文档