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用于钙钛矿太阳能模块的快速混合化学气相沉积.pdfVIP

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  • 2023-06-06 发布于四川
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用于钙钛矿太阳能模块的快速混合化学气相沉积.pdf

    本文描述了用于执行快速混合化学气相沉积的系统和方法。在一个实施方式中，将第一类型的前体材料沉积在基板上。基板被放置在加热装置的接受器中，该加热装置被配置为向该接受器的至少一部分提供热量。将第二类型的前体材料放置在该加热装置的该接受器中，使得该有机化合物比该基板更靠近该加热装置的气源。创建通过该加热装置的该接受器的气流。该加热部件用于导致包括该基板和该第二类型的前体材料的该接受器的一部分被加热。在该加热过程期间，该第二类型的前体材料的至少一部分被沉积在该第一类型的前体材料的至少一部分上。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115768917 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202180041385.4 (74)专利代理机构 北京东方亿思知识产权代理

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