MEMS气体传感器及MEMS气体传感器的制造方法.pdfVIP

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2023-06-06 发布于四川
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MEMS气体传感器及MEMS气体传感器的制造方法.pdf

延长MEMS气体传感器的寿命。MEMS气体传感器(1)具备：绝缘体(3)、气敏材料(33)、第一氧化膜(6)和层间绝缘膜(13)、加热器布线图案(23)、以及下侧保护膜(11)和上侧保护膜(20)。绝缘体具有腔体(3c)。气敏材料(33)与腔体(3c)对应地设置。第一氧化膜(6)和层间绝缘膜(13)设置于绝缘体(3)，并配置成在俯视观察下彼此重叠。加热器布线图案(23)用于加热气敏材料(33)，并配置在第一氧化膜(6)与层间绝缘层(13)之间。下侧保护膜(11)和上侧保护膜(20)紧贴并覆盖加热

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112805557 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 201980066186.1 (74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限

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