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日程
• MEMS 模块概述 • 压电效应
• 静电和力学接口功能特点和建模方法 – 压电效应简介和压电耦合方程
– 压电建模的要素和技巧
– 静电接口及其域和边界条件
– 压电材料方向设置
– 固体力学分析类型及边界条件、阻尼等
• 其它MEMS 多物理场耦合
• 机电接口建模方法
– 热应力和热膨胀
– 机电原理
– 热弹性和热粘性声学
– 机电的结构力学和电气特征
– 压阻效应
– 机电求解类型和求解技巧
– 流固耦合
1. 从基本模块开始 3.选择
CAD/ECAD
接口模块
以及
MATLAB或
者EXCEL接
口模块
2. 选择专业模块扩展物理场应
用（MEMS模块的用户通常会对
未覆盖的模块感兴趣）
MEMS 器件
• 加速度计 • RF MEMS 开关
• 压力传感器 • 可调式滤波器
• 微镜 • 天线
传感器和
• 微电机 RF MEMS
执行器
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