[培训ppt]COMSOL-MEMS 的多物理场仿真2.pdfVIP

日程 • MEMS 模块概述 • 压电效应 • 静电和力学接口功能特点和建模方法 – 压电效应简介和压电耦合方程 – 压电建模的要素和技巧 – 静电接口及其域和边界条件 – 压电材料方向设置 – 固体力学分析类型及边界条件、阻尼等 • 其它MEMS 多物理场耦合 • 机电接口建模方法 – 热应力和热膨胀 – 机电原理 – 热弹性和热粘性声学 – 机电的结构力学和电气特征 – 压阻效应 – 机电求解类型和求解技巧 – 流固耦合 机电接口建模方法 机电原理 V+ 对象之间存在不 机电将移动网格和结构力学耦合在 同电势时产生的 一起，模拟静电驱动器和传感器 静电吸引力导致 V=0 结构变形 支持的空间维度：三维、二 维平面应变，二维轴对称 在硅片上加工出来的悬臂梁 周围的空气 施加偏压的悬臂梁 接地 COMSOL 在结构上计算静电力，结构 最终的结果显示了变形的结构， 初始网格 和网格同时发生变形 轴向应变（梁上的颜色）和电 势（等势线） 演示 机电接口 ▪ 更新的耦合接口 – 固体力学接口 – 静电接口 – 变形域 （动网格） – 机电力多物理场耦合 机电：结构力学特征 包含全套结构力学边界条件： 在结构的表面上自动加上静 ✓ 自由，固定，边界载荷，从动载荷，高 电力和网格约束 级周期性边界条件，薄弹性层，辊支承， 弹簧基，等等。 如果材料中的场并不重要，只需 ✓ 薄膜阻尼特征可以用来方便地引入复杂 要求解结构力学问题（假设材料 为导体），可以模拟各向同性， 的阻尼模型。