[培训ppt]COMSOL-MEMS 的多物理场仿真3.pdfVIP

日程 • MEMS 模块概述 • 压电效应 • 静电和力学接口功能特点和建模方法 – 压电效应简介和压电耦合方程 – 压电建模的要素和技巧 – 静电接口及其域和边界条件 – 压电材料方向设置 – 固体力学分析类型及边界条件、阻尼等 • 其它MEMS 多物理场耦合 • 机电接口建模方法 – 热应力和热膨胀 – 机电原理 – 热弹性和热粘性声学 – 机电的结构力学和电气特征 – 压阻效应 – 机电求解类型和求解技巧 – 流固耦合 压电效应简介和耦合方程 压电效应 ▪ Piezo (希腊语) = 压力 ▪ 正效应: 应力导致电极化 正效应 逆效应 ▪ 反效应: 电场导致应变 ▪ 材料类型: COMSOL 中有27种压电材 料的属性 – 石英– 天然陶瓷 – Lead Zirconium Titanate (PZT) – 工程陶 瓷 – PolyVinylidene Fluoride (PVDF) – 聚合 物 压 移 电 位 力 电压 MEMS 中的压电设备 ▪ 传感器 ▪ 执行器 ▪ 谐振器 压电驱动剪切梁 ▪ 超声设备 ▪ …… 厚度剪切式石英振子 压电设备 • 位置/力控制器 • RF MEMS 开关 • 加速度计 • SAW 滤波器 • MEMS 陀螺仪 • BAW 滤波器 • 载荷单元 • 可调式空腔滤波器 • 压力传感器 执行器与 RF MEMS • 能量收集器 传感器 • 超声换能器 声学设备 流量控制 • 合成射流 • 水听器