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日程安排
▪ COMSOL低温等离子体建模简介 ▪ 感应耦合等离子体
▪ 直流放电案例操作 ▪ 微波放电等离子体
▪ 等离子体全局模型 ▪ 平衡放电等离子体
▪ 容性耦合等离子体 ▪ 等离子体相关多物理场耦合
▪ 等离子体模型调试技巧
▪ 5.5版本等离子体模块新功能介绍
等离子体全局模型
▪ 重物质粒子(非电子粒子)的质量分数通过求解质量守恒方程得到
▪ 放电腔体内气压由质量连续性方程得到
▪ 电子密度由电中性条件求得，电子能量密度由能量守恒方程求得
等离子体全局模型
求解质量分数的体积平均:
体积
= − + + 密度
in in, out surf
质量分数体积平均
= − +
in out surf in 入口质量流率
out 出口质量流率
反应总源项
surf 表面反应总流入质量
适用于检测等离子体化学反应体系的完备性
等离子体全局模型
求解质量分数的体积平均: 反应器类型:
= − + +
in in, out surf • 密闭反应器
= − + • 固定质量
in out surf
• 固定压强
同时求解密度
等离子体全局模型
求解体积平均质量分数: 反应器类型:
= − + +
in in, out surf • 密闭反应器
• 固定质量
= 0
= + • 固定压强
out in surf
等离子体全局模型
求解体积平均质量分数:
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