[培训ppt]COMSOL-等离子体建模3.pdfVIP

日程安排 ▪ COMSOL低温等离子体建模简介 ▪ 感应耦合等离子体 ▪ 直流放电案例操作 ▪ 微波放电等离子体 ▪ 等离子体全局模型 ▪ 平衡等离子体 ▪ 容性耦合等离子体 ▪ 等离子体相关多物理场耦合 ▪ 等离子体模型调试技巧 ▪ 5.5版本等离子体模块新功能介绍 感应耦合等离子体 ▪ 对于感应放电，我们求解频域中的磁矢势 ▪ 感应耦合等离子体相当于等离子体和磁场的耦合建模 磁场和等离子体耦合 ▪ 等离子体计算得到的电导率耦合 到磁场，用于计算电磁场分布 ▪ 磁场计算得到的热源耦合到等离 子体接口中 案例操作— GEC ICP 反应器 5 匝线圈, 1500瓦, 13.56MHz 介电材料 从这里开始产 生等离子体 晶圆基座 可以从以下链接找到相关的演示：/products/plasma/ 示例 ▪ COMSOL Multiphysics 仿真GEC ICP 反应器 ▪ GEC 池是一个NIST 设计的标准参比池，用于研究等离子体和基准仿真 ▪ 其中气体为氩气，气压为20mtorr ▪ 考虑以下化学反应： Step 1 – 选择物理场接口 ▪ 通过模型向导选择正确的物理场接 口 ▪ 本例我们模拟感应耦合等离子体 ▪ 其他的接口包括容性耦合等离子体、 直流放电和微波等离子体等 Step 2 –绘制或导入几何 使用COMSOL 自带的CAD工 具进行绘图也 导入操作之 可导入几何 后图形窗口 中出现几何 导入GEC池几 何文件路径 Step 3 – 导入截面数据 反应和物质自动 显示在模型树 导入LXCAT格式的 散射截面数据，或 者反应方程式 Step 4 –定义体内和表面反应 重物质体 反应 表面反应 表面反应粘附系数 和二次发射系数 Step 5 –定义电磁特性 定义线圈域 可以通过电流，电 压，能量或者外电 路来激励线圈 Step 6 – 电子传递边界条件 定义电子在 壁处的损耗 反射系数和额 外的电子源 Step 7 – 网格剖分 采用边界层网格 以便更好地解析 空间电荷分布 为解析线圈 域的趋肤效 应采用了更 密集的网格 Step 8 – 求解 设置线圈 频率和时 间步长 求解 Step 9 –后处理 绘制电子密度， 电子温度，电势，