基于选择技术的气体稀释装置及方法.pdfVIP

基于选择技术的气体稀释装置及方法.pdf

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本发明提供了基于选择技术的气体稀释装置及方法,所述基于选择技术的气体稀释装置包括混合罐;第一切换模块用于使定量环的输入端选择性地连通第一气体和第二气体;定量环和气体分离单元;第二切换模块用于使所述定量环的输出端选择性连通所述气体分离单元或外界;非破坏型检测器的输入端连接所述气体分离单元,输出端连接第三切换模块;第三切换模块用于使所述非破坏型探测器的出口选择性地连接所述混合罐和外界;第三气体通过气体管道进入所述混合罐;计量模块用于计量所述第三气体。本发明满足了痕量气体稀释的要求。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112816601 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202011616681.6 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 杭州谱育科技发展有限公司

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